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UV imprinting and aligned ink-jet printing for multi-layer patterning of electro-optic polymer modulators

机译:用于多层图案化的UV压印和对齐喷墨印刷   电光聚合物调制器

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摘要

The present work demonstrates an electro-optic polymer based Mach-Zehnder(MZ) modulator fabricated utilizing advanced ultraviolet (UV) imprinting andaligned ink-jet printing technologies for patterning and layer deposition. Thebottom electrode layer is designed and directly ink-jet printed on thesubstrate to form the patterned layer. The waveguide structure is formed into abottom cladding polymer using a transparent flexible mold based UV imprintingmethod. All other layers can be ink-jet printed. The top electrode is alignedand printed over the Mach-Zehnder arm. The modulator demonstrates a V-pi of 8Vat 3kHz. This technology shows great potential in minimizing the fabricationcomplexity and roll-to-roll compatibility for manufacturing low cost,light-weight, and conformal modulators at high throughput.
机译:本工作演示了一种基于电光聚合物的Mach-Zehnder(MZ)调制器,该调制器利用先进的紫外线(UV)压印和对齐的喷墨打印技术进行图案化和层沉积。设计底部电极层并将其直接喷墨印刷在基板上以形成图案化层。使用基于透明柔性模具的紫外线压印方法,将波导结构制成底部包覆聚合物。所有其他层都可以喷墨打印。顶部电极对齐并打印在Mach-Zehnder臂上。调制器显示了8Vat 3kHz的V-pi。该技术在最大程度地降低制造复杂性和卷对卷兼容性方面具有巨大潜力,可用于以高产量制造低成本,轻巧和保形的调制器。

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